Ученые Института физики полупроводников СО РАН в новосибирском Академгородке создали стандарт измерения высоты поверхности, который может применяться для настройки и калибровки высокоточной аппаратуры, в том числе используемой в сфере нанотехнологий.
Как сообщает агентство ТАСС со ссылкой на старшего научного сотрудника института Сергея Косолобова, эталонный объект сейчас регистрируют в государственном реестре средств измерений.
По данным «Интерфакса», ученым удалось в условиях сверхвысокого вакуума получить поверхности, «шероховатости» на которых равны «высоте» одного атома кремния, при этом между ними образуются достаточно широкие «террасы», которые не содержат таких выступов. «Это самая гладкая поверхность, которую можно получить любыми способами», — отметил он.
По словам ученого, размеры таких поверхностей составляют от 10 до 300 микрон, при этом высота одной атомной «ступени» всегда одинакова — 0,3 нанометра. «Если мы соберем 10 таких ступеней, мы получим стандарт высоты размером 3 нанометра, 100 — 30 нанометров и т.д. Для нанотехнологий существование такого стандарта для калибровки приборов — очень важная задача. На данный момент в мире таких стандартов, меньших, чем 90–100 нанометров, нет», — цитирует ученого «Интерфакс».
С помощью сверхгладких поверхностей в оптических микроскопах было достигнуто разрешение в 1 пикометр (одна триллионная часть метра), что является уникальным результатом, добавил ученый.
НГС.НОВОСТИ
